氯铂酸溶液中沉积出结构均匀的铂粒子
电子束诱导沉积(Electronbeam induced deposition，EBID)是近二十年来发展较为迅速的一种聚焦电子束制造方法，可以实现电镜内纳米结构的原位制备。其原理是利用电镜的微小束斑聚焦电子，与样品室内的含金属成分气体相互作用，从而分解出金属原子沉积形成纳米结构。该方法的主要优点是：1）束斑小可以实现纳米尺寸的结构制备，且最终结构的尺度随电子束斑尺寸可调；2）制备过程可视，能够实现选定位置的原位可控制备和监测；3）电子束的可控性强，可以实现复杂图案和结构的制备；4）相对于聚焦离子束，电子束沉积不引入离子污染。
最近，美国肯塔基大学研究者利用电子束诱导沉积技术，从稀释的氯铂酸溶液中沉积出直径小于50nm的铂丝。现有的工艺通常是常用气态前躯体，利用电子束激发使其分解得到铂，沉积过程无法做到洁净，会带入很大杂质(铂沉积过程引入的杂质碳含量高达75%或磷含量高达60%)。研究中采用液体前躯体，沉积出的铂层纯度会高很多(杂质氯含量约10%)，另外，沉积速度也比气态前躯体高至少10倍以上。
他们宣称，液相电子束诱导沉积铂提供了一种新途径，可以获得结构确定的三维纳米材料，无需繁琐复杂的前处理。与气相技术相比，能大幅降低杂质碳的含量。因此有望在纳米面具和模板的维修及改性方面取得应用。