不同温度处理的薄膜的XRD谱
随着高端电子设备朝小型化、轻量化、高可靠性、长寿命的方向发展，电子器件中的电容器必须向容量大、体积小、功率密度高和脉冲放电性能优异的方向发展。传统的电容器已经不能满足高端电子设备的要求。超级电容器的比功率是蓄电池的数十倍，比能量是物理电容器的数百倍，而且具有充放电效率高、能够持续放出大电流、不需要维护保养和寿命长等性能，正在被广泛地应用于航空航天、电子信息技术、绿色环保能源工业、电动汽车等领域。研究超级电容器有着极其广阔的应用前景和重要的战略意义。
根据电荷的储存机理，超级电容器可分为双电层电容器和法拉第准(赝)电容器。双电层电容器使用碳素材料作为电极，比电容为200 F/g左右。法拉第准电容器使用RuO2、MnO2、NiO和SnO2等金属氧化物作为电极，通过法拉第氧化还原反应完成充放电。其中，RuO2·H2O电极材料的比电容高达700F/g，比电容大约是碳电极的3倍，比功率比碳电极的大1个数量级；在硫酸电解液中性能稳定，充放电性能优异且循环寿命长。因此，RuO2·H2O是目前应用于高比能超级电容器性能最优异的电极材料，已显示出非常重要的地位和广阔的应用前景。
RuO2·H2O电极的性能是直接影响超级电容器整体性能的主要因素。RuO2·H2O占超级电容器制造成本的50%以上。不同形态结构的RuO2·H2O的比电容相差很大。对于微孔结构的RuO2·H2O电极材料，电极深层的活性物质能参与快速可逆的氧化还原反应；与晶体结构的RuO2相比，质子更容易在无定形的RuO2·H2O中自由扩散。因此，无定形的RuO2·H2O电极材料具有更大的比电容。目前，制备氧化钌电极材料的方法有电沉积法、涂敷热分解法、Sol-gel法和CVD法等。采用涂敷热分解等高温方法制备RuO2电极材料，薄膜的结合水含量较低，影响电容特性，且RuO2的用量较大；用Sol-gel法制备RuO2，薄膜附着力较差；CVD法制备RuO2薄膜，反应时间长，不宜批量生产；电沉积法设备要求低，采用RuCl3·3H2O水溶液为电沉积液制备RuO2·H2O薄膜，成本相对较低。电沉积法制备的初生薄膜成分为RuCl3·cH2O，附着力较差，比电容较小，需要经过热处理将其转变为RuO2·nH2O，以便改善附着力和提高比电容。但是，若处理温度过高会使RuO2·nH2O晶化，导致比电容快速降低。
中南大学刘泓等人以RuCl3 ·3H2O水溶液为电沉积液，采用直流−示差脉冲组合电沉积技术，通过后续热处理工艺制备超级电容器用钽基RuO2·nH2O薄膜电极材料。用X射线衍射仪 (XRD)、红外光谱仪(FTIR)、差热分析仪(DTA)、扫描电镜(SEM)和电化学分析仪，研究前驱体RuCl3·cH2O转化为RuO2·nH2O的物相演变行为以及微观组织形貌和循环伏安性能。结果表明：随着热处理温度升高，前驱体RuCl3·cH2O通过4步反应转变成RuO2·nH2O薄膜；该薄膜经历从无定形向晶体结构的转变。经300℃热处理的RuO2·nH2O薄膜电极材料的单位面积质量为2.5 mg/cm2，比电容达到512 F/g；当电压扫描速率从5 mV/s增加到250 mV/s时，其比电容下降34%。