常规晶圆级封装(WLP)结构示意图
晶圆级封装(WLP)是一项公认成熟的工艺,元器件供货商正寻求将WLP用于更多的领域,而业界对WLP技术的支持推动着该技术快速走向成熟。WLP中一个关键工艺是晶圆凸点,其技术发展已进入实用阶段,日趋成熟稳定。随着组件供货商(包括功率和光电子器件)正积极转向WLP应用,其使用范围也在不断扩大。
晶圆级封装技术源自于倒装芯片。晶圆级封装的开发主要是由集成器件制造厂家(IBM)率先启动。
1964年,美国IBM公司在其M360计算器中最先采用了FCOB焊料凸点倒装芯片器件。
1969年,美国Delco公司在汽车中使用了焊料凸点器件。
二十世纪70年代,NEC、日立等日本公司开始在一些计算器和超级计算器中采用FCOB器件。
到了二十世纪90年代,世界上成立了诸如Kulicke and Soffa’s FlipChip Division、Unitive、Fujitsu Tohoku Electronics、IC Interconnect等众多晶圆凸点的制造公司,这些公司拥有的基础技术是电镀工艺与焊膏工艺。这些公司利用凸点技术和薄膜再分布技术开发了晶圆级封装技术。FCD公司和富士通公司的超级CSP(Ultra CSP与Supper CSP)是首批进入市场的晶圆级封装产品。
1999年,晶圆凸点的制造公司开始给主要的封装配套厂家发放技术许可证。这样,倒装芯片和晶圆级封装也就逐渐在世界各地推广开来。例如,台湾的ASE公司和Siliconware公司以及韩国的Amkor公司就是按照FCD公司的技术授权来制造超级CSP(Ultra CSP)的。